[프로젝트] 반도체 설비 진동 모니터링 시스템
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(주)사이로직은 PsyPOD(사이포드) 시스템을 이용한 반도체 설비 진동 모니터링 시스템 프로젝트를 완료하였습니다.
고정밀 노광기의 진동을 모니터링 함으로써, 장비 간의 간섭을 체크하고, 불량을 미연에 방지하여 생산성을 높일 수 있도록 하였습니다. 측정된 데이터는 계측기에 자동 저장되고, 설비 제어기에 상태 정보를 제공합니다.
사이포드는 현대자동차의 엔진진동모니터링 시스템에 이어, 반도체 설비의 진동 모니터링 시스템으로도 활용되고 있습니다.
고정밀 노광기의 진동을 모니터링 함으로써, 장비 간의 간섭을 체크하고, 불량을 미연에 방지하여 생산성을 높일 수 있도록 하였습니다. 측정된 데이터는 계측기에 자동 저장되고, 설비 제어기에 상태 정보를 제공합니다.
사이포드는 현대자동차의 엔진진동모니터링 시스템에 이어, 반도체 설비의 진동 모니터링 시스템으로도 활용되고 있습니다.
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